Вакуумски премазје процес који се користи за производњу висококвалитетних танких филмских материјала. Производи танке филмове термички испаравањем или пропадањем органских или неорганских материјала на површини подлоге под вакуумским условима. Овај чланак ће детаљно увести имплементацију вакуумског премаза.
Процес вакуумског премаза укључује следеће кораке:
1. Изаберите праву подлогу и материјал
Одабир праве супстрате и материјала је први корак у вакуумском премазу. Подлога може бити стакла, пластична, метална или друга наноматеријала. Материјали могу бити органски или неорганистички, попут метала, полуводича, оксида или нитрида.
2 Уметните систем за усисивање
Други корак је учитавање подлоге и материјала у систем вакуумског премаза. Систем вакуумског премаза укључује вакуумску комору, метални испаривач, шљунак и систем управљања. Вакуумска комора је затворени простор који се користи за одржавање вакуумског окружења, метални испаривачи и шљунци су уређаји који се користе за испаравање или пуцање материјала на подлоге, а управљачки систем користи се за надгледање и прилагођавање вакуумског окружења и прилагођавања вакуумског окружења или прилагођавања вакуумског окружења или усавршавања.
3. вакуум
Након утовара материјала и подлоге, вакуумска комора треба евакуисати. Вакуумирање је веома важан корак, јер одржавање ниског притиска и окружења високог чистоће може гарантовати квалитет мембране. Вакуумско окружење је обично испод 10 ^ -6 мбар да искључи молекуле гаса и других загађивача.
4. Испаравање материјала или пропадање
Када вакуум окружење достигне жељени притисак, материјал се може испаравати или пукнути на подлогу. Постоје две методе испаравања материјала: испаравање топлотног испаравања и испаравањем електрона. Спутање такође има две методе: магнетрон пуцкање и лукање лука. Која се метода користи, потребно је контролисати испаравање материјала или стопе пропадања и дебљине филма.
5. Направите вишеслојни филм
Једном када је измишљена једнослојна мембрана, више слојева се може сложити заједно да формирају композит. Могу се користити различити материјали и таложени процеси, као што су наизменично таложење, више-пиштољ материјала за ко-таповање и зонирано таложење.
6. Тест мембрана квалитета
Коначни корак је да тестира квалитет мембране. Тестови могу да садрже дебљине, физичка својства, оптичка својства и електрична својства, између осталог. Одредите да ли мембрански материјал испуњава захтеве у складу са резултатима испитивања.
Укратко, технологија вакуумског премаза је метода за постизање висококвалитетних танких филмова. Потребно је да одабере одговарајућу подлогу и материјал, оптерећује систем за вакуум превлачење, усисавање, испаравање материјала или испаравање или шприцте, направите вишеслојни филм и тестирајте филмски квалитет. Технологија вакуумског премаза је широко коришћена у електроничкој, оптици, медицинској и енергетској области.